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上海瞻馳光電科技有限公司
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該設備可將保護膠帶粘貼在晶圓圖案表面上,用于背面研磨處理
該設備可將保護膠帶粘貼在晶圓圖案表面上,用于背面研磨處理。 我們具有一系列全自動型和半自動型粘貼器,可用于尺寸較大的晶圓。
用于 300 mm 晶圓的全自動保護膠帶粘貼器

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低拉力粘貼/粘貼應力控制
可通過觸摸面板和配方功能實現簡易操作
日志文件功能標準設備
具有膠帶下垂檢測功能
符合 CE 標志和 SEMI S2/S8 規范要求
可添設晶圓映射掃描儀
符合 SECS/GEM 標準
可用晶圓尺寸:300 mm/200 mm
可用晶圓厚度:400 um 或更厚
吞吐量:68 晶圓/小時
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