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原子力顯微鏡 用于半導體行業的測量
X,Y測量范圍： 20umX20um; 40umX40um; 80umX80um
Z測量范圍： 2um 4um 6um
X,Y分辨率： 0.1nm
Z分辨率： 0.01nm
原子力顯微鏡 (AFM)通過一個微小尺寸
懸臂上的精密尖頭對樣品進行表面掃描
尖頭和樣品表面原子間的相互作用力會使
懸臂位置發生輕微偏離，接著被壓阻
元件探測到該變化，從而被測量，基于
這個影響， AFM 可以高分辨率地測量
表面形貌及粗糙度，屬于無損測量
AFM 可以使用不同的操作模式，因此可
以用來研究更多的性能, 比如樣品的靜電
力、磁力或者彈力。
特色：
測量性能
高分辨率表面形貌測量
尖頭自動靠近被測樣品表面
樣品表面取樣通過壓阻感應元件
接觸測量模式、非接觸測量模式
靜電力和磁力特性的測量
measurement of electrical and magnetic properties,
側力及彈力測量 lateral forces and elasticity*1
液態測量measurement in liquids*2
更多操作模式可選
*1 contact mode in basic version, additional modes upon request
*2 optional
Atomic Force Microscopy
Surface Characterization表面特性
Very High Resolutions分辨率
典型應用：
微型工業技術的質量保證
納米亞納米級粗糙度測量
硅片及光學器件表面測量 range
生物標本表面特征
納米結構測量
醫學樣品表面特征研究medical samples,
e.g. protheses, catheters or stents
應用于材料科學中檢測橡皮圈, 磁性工件等
AFM measuring head 測量頭
control unit 控制器件；傳感器安裝在電動臺
sensor mount with motor-driven z-stage
software, operating manual 測量軟件操作手冊
