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正如工業母機之于金屬加工，半導體設備對于芯片制造而言同樣至關重要。全球半導體設備市場高度集中，海外龍頭仍處于壟斷地位，不過在中國半導體設備廠商的突圍下，已經在去膠、清洗、熱處理、刻蝕等工藝上有所突破，將整體國產化率提升至35%。
半導體制造流程 / 山崎馬扎克
而2024年，全球半導體市場設備規模已經達到1090億美元，也就意味著國產替代空間已經突破千億級。隨著大型晶圓廠項目的連連落地，2024年已成為半導體設備投資大年，來自國內的采購訂單再創新高，達到490億美元。
這不僅給半導體設備制造商獻上了一個天大的機遇，也為關鍵零部件的供應商帶來了潑天的富貴。
因為哪怕半導體設備本身的國產化率上去了，半導體設備關鍵零部件的國產化率還是很低。先不說光學、電源等技術壁壘極高的零部件，就連腔體、泵、閥門、法蘭、靶材和晶圓傳輸裝置零件等，國產化率也沒有超過20%。
哪怕2025年的市場走向未定，供應鏈國產化替代的趨勢始終不會改變，而這恰恰是作為供應商的你，打入半導體設備市場的最佳機會。如何選對高效的生產設備，開啟新一輪的業務增長？別急，我們幫你打造了一個全面的解決方案展示平臺。
2025年3月26日至29日，200+全球領先的加工中心品牌將亮相ITES深圳工業展，諸如山崎馬扎克、牧野、GF加工方案、羅德斯、北京精雕、創世紀、喬鋒、科杰技術、瀧澤、寶力、九龍、東源、津上、碩方、漢銳科特、圣特斯、舒特等，將現場展示實現微米級乃至納米級精度的半導體設備零部件加工方案，助你打入半導體設備供應鏈，提供最完備的關鍵零部件加工設備支持。
01
濺射靶材
作為半導體設備中利潤較高的耗材，濺射靶材則主要用于晶圓制造和芯片封裝兩個環節。雖然國產廠商已經有了從國際大廠手中搶單的實力，但如何通過改進生產設備，降低成本、提高產品生產效率，是不少濺射靶材供應商苦惱的問題。
半導體芯片制造客戶所使用的濺射機臺十分精密，對濺射靶材的尺寸精度要求很高，因此需要數控車床、加工中心等大型精密加工設備，才能夠對靶材的各項尺寸進行精準控制。
在對濺射靶材的精密加工中，如果采用車銑復合加工中心，將車削和銑削兩道工序結合在一起，既可以縮短機床之間的裝卸工件的手動時間，又可以減少作業人數，通過一次裝夾來減少對零件的二次定位，從而實現極高的加工精度。
TMA8J車銑復合車床 / 津上
以津上的TMA8J車銑復合車床為例，這臺超高性價比，高性能復合加工機可針對濺射靶材這類工件進行車銑復合加工，多工序集成，有效削減人工、機器臺數，同時縮短加工時間。
SPEEDIO M200Xd1 / 日本兄弟
除了津上的復合加工機床外，日本兄弟的銑削復合加工中心M200xd1，以及中村留的車銑復合機床AS-200L，均可以通過一次裝夾，完成對濺射靶材的多面加工。本屆ITES深圳工業展上，寶力機械也將在現場帶來日本兄弟、中村留最新車銑復合加工中心的實機展示。
AS-200L / 中村留
今年3月底，ITES深圳工業展集結瀧澤、寶力、九龍、東源、津上、碩方、漢銳科特、圣特斯、舒特 、木村、寶宇、揚牧、臺茂、西力、圓方、毅興、超睿、福道、巨力、中臺國內外先進機床大廠，為汽車、醫療器械、半導體設備和航空航天等領域的復雜及高精度零件加工，展示全面高效定制的車銑復合加工解決方案。歡迎來現場與原廠工程師面對面交流，驗證車銑復合加工中心在半導體設備加工上的高效性。
02
真空腔體
如果你有關注過國內最大的半導體濺射靶材供應商江豐電子，就會發現他們近年通過布局半導體精密零部件的制造，并在供應鏈本土化進程加速的紅利下頻頻收獲來自中芯國際、臺積電、SK海力士、京東方的訂單。
江豐電子2024年半年度報告
半導體精密零部件也成了他們在2023和2024年的第二成長曲線，營收增速遠超濺射靶材。這是因為除了濺射靶材這類耗材之外，同樣擁有廣闊國產替代市場空間的就是半導體精密零部件了。
這類零部件的加工具備精度超高、多品種、小批量、尺寸特殊等特點，主要包括真空腔體、冷卻盤、噴淋盤等。以真空腔體為例，真空腔體是指在半導體設備中用于制造半導體芯片的真空環境容器，其主要作用是為半導體加工提供穩定的真空環境。
半導體設備真空腔體及周邊設備 / 牧野
不少供應商認為這類金屬加工件已經沒有多少利潤空間了，實則不然。金屬加工件恰恰是除光電組件外，占半導體設備成本比例最高的零部件，同時又不像濺射靶材一樣，生產設備投入巨大。
不同零部件占設備成本比例 / 富創精密
半導體設備中，真空腔體的穩定性和精密度對于半導體器件的制造和性能具有重要影響。真空腔體加工同樣涉及多面加工、車床加工、銑床加工等復雜加工，因此通過引進復合加工機，可以實現高度的工序集約，比如山崎馬扎克的INTEGREX e-1600V/10。
INTEGREX e-1600V/10 / 山崎馬扎克
INTEGREX e-1600V/10可針對大型腔體進行車銑復合加工，雙工作臺可設置兩套工裝夾具，進一步提高效率，減少翻臺準備的次數。還可以將臥式加工中心和復合加工機連接到一條FMS生產線上，實現真空腔體的柔性自動化生產。
同步旋轉Smart Tool / 牧野
除此之外，牧野為其臥式加工中心配備的Smart Tool加工方案，也提供了黑爾加工、同步旋轉和帶式磨削等功能，避免傳統工序切削痕跡影響真空度的同時，實現了不需要人工進行干預和研磨的真空腔體密封面加工。
03
噴淋盤
在刻蝕機的國產化替代上，國內半導體設備廠商憑借核心技術突破，已經實現了20%的國產化率，且已經可以覆蓋部分先進工藝。但在刻蝕機的部分關鍵零部件上，依然還有很大的替代空間，就拿用于氣體分配的噴淋盤為例。
單晶硅噴淋盤 / 北京精雕
噴淋盤相對于其他半導體設備零部件的國產化率要略高一些，卻也僅僅只是在10%以上，高端產品國產化率更低，擁有相當大的替代和利潤空間。從表面上看，噴淋盤制造的最大難點在于微孔加工，且通孔數達到上千甚至上萬個。
噴淋盤多采用單晶硅材質，屬于脆性材料，在外力作用下很容易斷裂。每個孔的加工不僅要保證極低的誤差，還要保證孔口沒有加工缺陷。因此在噴淋盤的制造上，需要能夠穩定實現微米級磨削精度的設備才能滿足要求。
JDHGMG600 / 北京精雕
北京精雕推出的JDHGMG600三軸高速磨削中心具有微米級精度的加工能力，不僅擅長玻璃、陶瓷、硅等脆性材料的磨削加工，更是可以實現2~5μm精度的精密磨削。搭配精雕的135S或JDS150S高速精密電主軸，非常適合用于輪廓或小孔類的精密磨削。
以單晶硅噴淋盤為例，搭配PCD鉆頭，JDHGMG600可以加工長徑比高達28:1的微孔，同時將孔徑尺寸和空間相對位置精度都控制在±10μm，并做到孔口無崩邊、無裂紋。
除了濺射靶材、真空腔體、噴淋盤之外，還有針對分子泵、閘閥、冷卻板、傳輸系統零部件等一系列精密零部件的加工方案，都將在今年3月26日至29日舉辦的ITES深圳工業展上悉數呈現。
END
深圳國際金屬切削機床展作為華南最具規模的高質量機床裝備展，800+國內外先進裝備品牌的年度首聚，展示其在先進制造和數字化制造領域的最新成果，集中呈現超2000臺高端裝備產品和零件高效加工方案。
浙公網安備 33010602000006號
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