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      敞開(kāi)式光柵尺在自動(dòng)化行業(yè)的應(yīng)用

      2013年07月02日 18:05:08人氣:2011來(lái)源:蘇州大星精密儀器儀表有限公司

        工控摘要:敞開(kāi)式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于需要高精度測(cè)量的機(jī)床和系統(tǒng),它消除了滾珠絲杠溫度特性和運(yùn)動(dòng)特性導(dǎo)致的誤差,反向誤差。
        
        典型應(yīng)用包括:
        
        半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備
        
        電路板組裝機(jī)
        
        精密機(jī)床
        
        高精度機(jī)床
        
        測(cè)量機(jī)和比較儀,測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備
        
        直接驅(qū)動(dòng)
        
        •產(chǎn)品系應(yīng)用
        
        LIC敞開(kāi)式直線光柵尺用于測(cè)量高速運(yùn)動(dòng)的行程達(dá)27m內(nèi)的位置。其尺寸和安裝方式與LIDA400相同.
        
        LIP敞開(kāi)式直線光柵尺的測(cè)量步距非常小、精度和重復(fù)精度非常高。掃描方式為干涉掃描,測(cè)量基準(zhǔn)為DIADUR相位光柵。
        
        LIF敞開(kāi)式直線光柵尺的測(cè)量基準(zhǔn)是SUPRADUR玻璃基體光柵,掃描方式為干涉掃描。特點(diǎn)是精度和重復(fù)精度高,安裝簡(jiǎn)單,有限位開(kāi)關(guān)和回零軌。特殊型號(hào)的LIF481V可用于10–7bar的真空環(huán)境中(參見(jiàn)其單獨(dú)“產(chǎn)品信息”)。
        
        LIDA敞開(kāi)式直線光柵尺特別適用于運(yùn)動(dòng)速度達(dá)10m/s的高速運(yùn)動(dòng)應(yīng)用,支持多種安裝方式,安裝簡(jiǎn)單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要求,METALLUR光柵的基體可為鋼帶,玻璃或玻璃陶瓷。也可有限位開(kāi)關(guān)。
        
        •PP雙坐標(biāo)編碼器的測(cè)量基準(zhǔn)是一個(gè)平面DIADUR相位光柵,掃描方式為干涉掃面。用于測(cè)量平面中位置。
        
        機(jī)械結(jié)構(gòu)
        
        敞開(kāi)式直線光柵尺包括光柵尺或鋼帶光柵尺和讀數(shù)頭,光柵尺和讀數(shù)頭間無(wú)機(jī)械接觸。敞開(kāi)式直線光柵尺的長(zhǎng)光柵直接固定在安裝面上。安裝面的平面度直接影響直線光柵尺精度。
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