2015年壓力傳感器行業分析報告

MEMS

2015年壓力傳感器行業分析報告

一、壓力傳感器情況：

（

1

）傳感器的定義

國家標準

GB7665-87

對傳感器下的定義是：

“能感受規定的被測量并按照一定的規律轉

換成可用信號的器件或裝置，通常由敏感元件和轉換元件組成”

。壓力傳感器是一種檢測裝

置，

能感受到被測量的信息，

并能將檢測感受到的信息，

按一定規律變換成為電信號或其他

所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。它是實

現自動檢測和自動控制的首要環節。

（

2

）傳感器的分類方法

目前對傳感器尚無一個統一的分類方法，但比較常用的有如下三種：

1.

按被測物理量分：如：力，壓力，位移，溫度，角度傳感器等；

2.

按照傳感器的工作原理分：如：應變式傳感器、壓電式傳感器、壓阻式傳感器、電感式傳

感器、電容式傳感器、光電式傳感器等；

3.

按照傳感器轉換能量的方式分：能量轉換型：如：壓電式、熱電偶、光電式傳感器等；能

量控制型：如：電阻式、電感式、霍爾式等傳感器以及熱敏電阻、光敏電阻、濕敏電阻等。

4.

按照傳感器工作機理分：結構型：如：電感式、電容式傳感器等；物性型：如：壓電式、

光電式、各種半導體式傳感器等。

5.

按照傳感器輸出信號的形式分：模擬式：傳感器輸出為模擬電壓量；數字式：傳感器輸出

為數字量，如：編碼器式傳感器。

（

3

）壓力傳感器

壓力傳感器是傳感器的一種，感知對象為壓力，包括傳統機械壓力傳感器和

MEMS

微

機電系統壓力傳感器兩大類：

傳統的機械量壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形，

由機械

量彈性變形到電量轉換輸出；微機電系統（

MEMS

）壓力傳感器從工作原理上來說一般分為

壓阻式傳感器和電容式傳感器，能完成傳統機械傳感器不能完成的功能。

相對于傳統的機械量傳感器，

MEMS

壓力傳感器的尺寸更小，

zui大的不超過

1cm

，使性

價比相對于傳統“機械”制造技術大幅度提高。

二、

MEMS

壓力傳感器是壓力傳感器行業發展的主流方向：

近二十年來，

壓力傳感器行業明顯加快了壓阻式替代淘汰應變式、

厚膜陶瓷式壓力傳感

器，

MEMS

技術逐步成為產業化的主流。

1.

MEMS

壓力傳感器的優勢：

目前，

MEMS

壓力傳感器是傳感器發展的主流方向，

未來將替代傳統各式傳感器。

MEMS

傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。

與傳統的傳感器相比，

它具

有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化

的特點。

同時，

在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統機械傳感器所不能實現的功

能。