德國Technologie-Manufaktur顯微鏡分辨率測試板 TC-RT03

產品概述

德國Technologie-Manufaktur公司生產的TC-RT03 MAT是一款高精度的顯微鏡分辨率測試板，主要用于校準、驗證和評估各類光學顯微鏡（如廣角鏡、激光掃描顯微鏡等）的分辨率、對比度和成像性能。其核心采用先進的電子束光刻技術制造，確保了納米級別的結構精度，是光學實驗室和質量控制中的基準工具。

核心技術與優勢

超高精度制造：采用電子束光刻技術直接在鉻層上燒蝕生成測試結構，最小結構尺寸可低至100納米，確保了佳的尺寸公差（低至14納米）和結構邊緣的直線度。

優異的光學性能：

基底材料：使用石英（熔融二氧化硅），提供從深紫外到近紅外（190nm - 2000nm）的極寬光譜透射范圍，適用于多種光源。

高對比度：鉻層提供了高的光密度，通過燒蝕形成的測試結構是透明的，而背景是不透光的鉻層，從而產生極其銳利的高對比度圖像。

堅固耐用的設計：測試芯片被牢固地封裝在一個激光雕刻的不銹鋼支架（75mm x 25mm） 中，符合標準顯微鏡載玻片尺寸，便于操作和保存。

主要技術參數

參數項目 規格說明

產品型號 TC-RT03 MAT

有效基底 石英晶圓（熔融二氧化硅），尺寸：10mm x 10mm x 1.0mm

封裝支架 不銹鋼，尺寸：75mm x 25mm x 1.5mm

結構層 鉻層，高光密度 (>3.6 @ 1µm)

關鍵結構 可變線對（最高可達3300 LP/mm以上）、針孔陣列（20x20）、棋盤格、邊緣MTF區域

制造工藝 電子束光刻

光譜范圍 190納米 - 2000納米

可選配置 0.17mm ± 5µm 蓋玻片（專用于高倍物鏡）

主要應用領域

顯微鏡校準與分辨率測試：精確測量光學顯微鏡在不同放大倍數（從10x到100x物鏡）下的極限分辨率。

成像系統性能評估：用于評估包括激光掃描顯微鏡在內的各種成像系統的調制傳遞函數（MTF）、對比度和像差。

科學研究與質量控制：在生命科學、材料科學、半導體檢測等領域，作為驗證儀器性能和確保測量一致性的標準件。

品牌與產品線

德國Technologie-Manufaktur 是一家在精密光學領域享有盛譽的制造商。除了高精度的分辨率測試板（定位板）外，其產品線還包括：

傳感器

攝像頭

遠程顯微鏡

總結

Technologie-Manufaktur的TC-RT03 MAT分辨率測試板集成了頂尖的制造工藝和優質材料，為光學成像領域提供了可靠且高精度的測量基準。無論是用于前沿科學研究還是嚴格的工業質量控制，它都是確保顯微鏡系統處于最佳工作狀態的理想工具。